| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.3188% | 2024-06-30 |
| 2 | 保宁资本有限公司-保宁新兴市场基金(美国) | 7516100股 | 0.7827% | 2024-06-30 |
| 3 | 高文新 | 5983700股 | 0.6231% | 2024-06-30 |
| 4 | 施建兴 | 4309766股 | 0.4488% | 2024-06-30 |
| 5 | 中信证券资产管理(香港)有限公司-客户资金-人民币资金汇入 | 4226962股 | 0.4402% | 2024-06-30 |
| 6 | 保宁资本有限公司-保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3622730股 | 0.3773% | 2024-06-30 |
| 7 | 香港中央结算有限公司 | 3525185股 | 0.3671% | 2024-06-30 |
| 8 | 彭博 | 2934000股 | 0.3055% | 2024-06-30 |
| 9 | 何漳荣 | 2887919股 | 0.3007% | 2024-06-30 |
| 10 | 张葆春 | 2780050股 | 0.2895% | 2024-06-30 |
| 11 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2024-03-31 |
| 12 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 10025635股 | 1.044% | 2024-03-31 |
| 13 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 7730800股 | 0.805% | 2024-03-31 |
| 14 | 香港中央结算有限公司 | 6550344股 | 0.682% | 2024-03-31 |
| 15 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金－人民币资金汇入 | 5526021股 | 0.575% | 2024-03-31 |
| 16 | 中国工商银行股份有限公司－上证综指交易型开放式指数证券投资基金 | 4397750股 | 0.458% | 2024-03-31 |
| 17 | 柳贵平 | 3981500股 | 0.415% | 2024-03-31 |
| 18 | 施建兴 | 3863766股 | 0.402% | 2024-03-31 |
| 19 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3622730股 | 0.377% | 2024-03-31 |
| 20 | 招商银行股份有限公司－南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 3316500股 | 0.345% | 2024-03-31 |
| 21 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2023-12-31 |
| 22 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 9481635股 | 0.987% | 2023-12-31 |
| 23 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 7831200股 | 0.815% | 2023-12-31 |
| 24 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金－人民币资金汇入 | 7743421股 | 0.806% | 2023-12-31 |
| 25 | 黄蓉 | 4129800股 | 0.43% | 2023-12-31 |
| 26 | 中国工商银行股份有限公司－上证综指交易型开放式指数证券投资基金 | 3921650股 | 0.408% | 2023-12-31 |
| 27 | 施建兴 | 3691166股 | 0.384% | 2023-12-31 |
| 28 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3643330股 | 0.379% | 2023-12-31 |
| 29 | 香港中央结算有限公司 | 3358188股 | 0.35% | 2023-12-31 |
| 30 | 柳贵平 | 2984000股 | 0.311% | 2023-12-31 |
| 31 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2023-09-30 |
| 32 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 12839935股 | 1.337% | 2023-09-30 |
| 33 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金－人民币资金汇入 | 8641911股 | 0.9% | 2023-09-30 |
| 34 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8061300股 | 0.839% | 2023-09-30 |
| 35 | 黄蓉 | 3899300股 | 0.406% | 2023-09-30 |
| 36 | 中信证券股份有限公司 | 3791418股 | 0.395% | 2023-09-30 |
| 37 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3643330股 | 0.379% | 2023-09-30 |
| 38 | 中国工商银行股份有限公司－上证综指交易型开放式指数证券投资基金 | 3248350股 | 0.338% | 2023-09-30 |
| 39 | 何漳荣 | 2887919股 | 0.301% | 2023-09-30 |
| 40 | 戴红 | 2794564股 | 0.291% | 2023-09-30 |
| 41 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2023-06-30 |
| 42 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 10368235股 | 1.08% | 2023-06-30 |
| 43 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8404600股 | 0.875% | 2023-06-30 |
| 44 | 中信证券股份有限公司 | 4384694股 | 0.457% | 2023-06-30 |
| 45 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3678330股 | 0.383% | 2023-06-30 |
| 46 | 香港中央结算有限公司 | 3578996股 | 0.373% | 2023-06-30 |
| 47 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 3368625股 | 0.351% | 2023-06-30 |
| 48 | 杨小勇 | 3019959股 | 0.314% | 2023-06-30 |
| 49 | 何漳荣 | 2846819股 | 0.296% | 2023-06-30 |
| 50 | 戴红 | 2780464股 | 0.29% | 2023-06-30 |
| 51 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2023-03-31 |
| 52 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8412100股 | 0.876% | 2023-03-31 |
| 53 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 8023035股 | 0.835% | 2023-03-31 |
| 54 | 香港中央结算有限公司 | 5112419股 | 0.532% | 2023-03-31 |
| 55 | 中信证券股份有限公司 | 4658264股 | 0.485% | 2023-03-31 |
| 56 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 4293925股 | 0.447% | 2023-03-31 |
| 57 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3581930股 | 0.373% | 2023-03-31 |
| 58 | 何漳荣 | 2846819股 | 0.296% | 2023-03-31 |
| 59 | 戴红 | 2773064股 | 0.289% | 2023-03-31 |
| 60 | 张标 | 2704661股 | 0.282% | 2023-03-31 |
| 61 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2022-12-31 |
| 62 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8630400股 | 0.899% | 2022-12-31 |
| 63 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7401435股 | 0.771% | 2022-12-31 |
| 64 | 中信证券股份有限公司 | 5104419股 | 0.532% | 2022-12-31 |
| 65 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3581930股 | 0.373% | 2022-12-31 |
| 66 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 3574025股 | 0.372% | 2022-12-31 |
| 67 | 何漳荣 | 2846819股 | 0.296% | 2022-12-31 |
| 68 | 戴红 | 2764864股 | 0.288% | 2022-12-31 |
| 69 | 杨小勇 | 2666959股 | 0.278% | 2022-12-31 |
| 70 | 张标 | 2648361股 | 0.276% | 2022-12-31 |
| 71 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2022-09-30 |
| 72 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8544700股 | 0.89% | 2022-09-30 |
| 73 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7148635股 | 0.744% | 2022-09-30 |
| 74 | 中信证券股份有限公司 | 5943392股 | 0.619% | 2022-09-30 |
| 75 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3615230股 | 0.376% | 2022-09-30 |
| 76 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 3303325股 | 0.344% | 2022-09-30 |
| 77 | 王衍斌 | 2851000股 | 0.297% | 2022-09-30 |
| 78 | 何漳荣 | 2846819股 | 0.296% | 2022-09-30 |
| 79 | 戴红 | 2741864股 | 0.286% | 2022-09-30 |
| 80 | 刘志兴 | 2730230股 | 0.284% | 2022-09-30 |
| 81 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2022-06-30 |
| 82 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 8914300股 | 0.928% | 2022-06-30 |
| 83 | 中信证券股份有限公司 | 7190938股 | 0.749% | 2022-06-30 |
| 84 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5644624股 | 0.588% | 2022-06-30 |
| 85 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3615230股 | 0.376% | 2022-06-30 |
| 86 | 刘志兴 | 2850230股 | 0.297% | 2022-06-30 |
| 87 | 何漳荣 | 2838019股 | 0.296% | 2022-06-30 |
| 88 | 戴红 | 2735164股 | 0.285% | 2022-06-30 |
| 89 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 2653188股 | 0.276% | 2022-06-30 |
| 90 | 王衍斌 | 2638700股 | 0.275% | 2022-06-30 |
| 91 | 上海鹏盛科技实业有限公司 | 214326656股 | 22.319% | 2022-03-31 |
| 92 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场基金(美国) | 9118200股 | 0.95% | 2022-03-31 |
| 93 | 中信证券股份有限公司 | 7703231股 | 0.802% | 2022-03-31 |
| 94 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5116324股 | 0.533% | 2022-03-31 |
| 95 | 戴红 | 4121464股 | 0.429% | 2022-03-31 |
| 96 | 王斌 | 4020800股 | 0.419% | 2022-03-31 |
| 97 | 保宁资本有限公司－保宁新兴市场中小企基金(美国) | 3615230股 | 0.376% | 2022-03-31 |
| 98 | 中信里昂资产管理有限公司－客户资金 | 3354734股 | 0.349% | 2022-03-31 |
| 99 | 建信基金－建设银行－中国建设银行股份有限公司工会委员会员工股权激励理事会 | 3325392股 | 0.346% | 2022-03-31 |
| 100 | 保宁资本有限公司－中国A股基金 | 2867348股 | 0.299% | 2022-03-31 |
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